sem_line_profile — GENERATIVE `sem` op

• 資料種類:無 → table(僅由參數決定的運算子 —— 不接受影像或資料輸入)

• 呼叫: import fullseye as fs; fs.ledger.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict'(要直接呼叫實作,import sem; sem.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict';從台帳取用則 opsgenerative.get("sem_line_profile"))

用法

用蒙地卡羅求電子束橫掃一條梯形截面線條的線輪廓(CD-SEM)。

> 以下的詳細說明為原文 —— 摘要與標題已翻譯。

線は y に一様。底辺の幅 width_nm・高さ height_nm・側壁角 sidewall_deg (90 = 垂直)の台形で、材料 line_material が基板 substrate の上に乗る(height_nm = 0 なら平らな基板)。ビームは幅 beam_sigma_nm のガウシアン、位置ごとに electrons_per_point 個を撃つ。buried は基板に埋もれた矩形の列 [(材料名, x0, x1, 上端の深さ, 下端の深さ), ...] [nm]。

Returns

dict

x_nm / 検出器ごとの信号 se_total・inlens・everhart・bse

(電子 1 個あたり)/ eta / profile(pairs: x と inlens)/

真の寸法 width_bottom_nm・width_top_nm・width_mid_nm。

Examples

>>> r = sem_line_profile(energy_kev=1.0, width_nm=30, height_nm=20, x_half_range_nm=30,

... x_step_nm=10, electrons_per_point=40)

>>> r["profile"].shape

(7, 2)

詳細使用指南

• generative_art 族使用指南

參考(範例資料、文獻)

• 範例資料目錄(下載 URL / 授權) —— 2-D 用 skimage.data(BSD/公有領域)加合成圖,3-D 給出真實資料源(Stanford/PDS 等)的下載 URL。

• 運算子來歷與參考文獻 —— 該運算子族所依據的研究/方法出處。

• 演算法的正典(作者、年份)與用途見上面的族使用指南。

可執行的範例(實際呼叫該運算子並已驗證的樣例)

• poc_virtual_sem_kv_cd_bse — py -3.11 examples/poc_virtual_sem_kv_cd_bse.py

型別可銜接的下一個運算子(可接受 `table` 作為輸入)

perpetual_step · perpetual_render

同類別(`sem`)

sem_render · sem_electron_mc · sem_se_universal_curve · sem_yield_curve · sem_cd_measure · sem_image · sem_se_escape_fraction · sem_charging_series

*Provenance: sem.py — GENERATIVE 運算子登記表。本條目由 tools/opdocs.py md 自動產生(請勿手動編輯)。*

sem_line_profile — GENERATIVE sem op

用法