sem_line_profile — GENERATIVE `sem` op

• Datenarten: keine → table (ein Operator, der allein durch seine Argumente bestimmt ist — er nimmt kein Bild und keine Daten entgegen)

• Aufruf: import fullseye as fs; fs.ledger.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict' (die Implementierung direkt: import sem; sem.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict'; aus dem Register: opsgenerative.get("sem_line_profile"))

Verwendung

Monte-Carlo-Linienprofil eines Strahls, der über eine Linie mit trapezförmigem Querschnitt gerastert wird (CD-SEM).

> Die ausführliche Beschreibung unten ist der Originaltext — Zusammenfassung und Überschriften sind übersetzt.

線は y に一様。底辺の幅 width_nm・高さ height_nm・側壁角 sidewall_deg (90 = 垂直)の台形で、材料 line_material が基板 substrate の上に乗る(height_nm = 0 なら平らな基板)。ビームは幅 beam_sigma_nm のガウシアン、位置ごとに electrons_per_point 個を撃つ。buried は基板に埋もれた矩形の列 [(材料名, x0, x1, 上端の深さ, 下端の深さ), ...] [nm]。

Returns

dict

x_nm / 検出器ごとの信号 se_total・inlens・everhart・bse

(電子 1 個あたり)/ eta / profile(pairs: x と inlens)/

真の寸法 width_bottom_nm・width_top_nm・width_mid_nm。

Examples

>>> r = sem_line_profile(energy_kev=1.0, width_nm=30, height_nm=20, x_half_range_nm=30,

... x_step_nm=10, electrons_per_point=40)

>>> r["profile"].shape

(7, 2)

Ausführlicher Anwendungsleitfaden

• Leitfaden zur Familie generative_art

Referenzen (Beispieldaten, Literatur)

• Katalog der Beispieldaten (Download-URLs / Lizenzen) — 2-D nutzt skimage.data (BSD/Public Domain) plus synthetische Bilder, 3-D nennt Download-URLs echter Datenquellen (Stanford, PDS, …).

• Herkunft und Literatur der Operatoren — die Quellen der Forschung/Verfahren, auf denen diese Operatorfamilie beruht.

• Der kanonische Algorithmus (Autor, Jahr) und seine Anwendungen stehen im Familienleitfaden oben.

Ausführbare Beispiele (verifizierte Samples, die diesen Operator wirklich aufrufen)

• poc_virtual_sem_kv_cd_bse — py -3.11 examples/poc_virtual_sem_kv_cd_bse.py

Typkompatible Folge-Operatoren (nehmen `table` als Eingabe)

perpetual_step · perpetual_render

Gleiche Kategorie (`sem`)

sem_render · sem_electron_mc · sem_se_universal_curve · sem_yield_curve · sem_cd_measure · sem_image · sem_se_escape_fraction · sem_charging_series

*Provenance: sem.py — GENERATIVE Operator-Registry. Diese Notiz wird von tools/opdocs.py md erzeugt (nicht von Hand bearbeiten).*

sem_line_profile — GENERATIVE sem op