sem_line_profile — GENERATIVE `sem` op

• データ種: なし → table(引数だけで決まる op —— 画像やデータの入力を取らない)

• 呼び出し: import fullseye as fs; fs.ledger.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict' (実装を直接呼ぶなら import sem; sem.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict'、台帳から引くなら opsgenerative.get("sem_line_profile"))

使い方

1 本の線(台形の断面)を横切って電子線を走査した線プロファイルを MC で出す(CD-SEM)。

線は y に一様。底辺の幅 width_nm・高さ height_nm・側壁角 sidewall_deg (90 = 垂直)の台形で、材料 line_material が基板 substrate の上に乗る(height_nm = 0 なら平らな基板)。ビームは幅 beam_sigma_nm のガウシアン、位置ごとに electrons_per_point 個を撃つ。buried は基板に埋もれた矩形の列 [(材料名, x0, x1, 上端の深さ, 下端の深さ), ...] [nm]。

Returns

dict

x_nm / 検出器ごとの信号 se_total・inlens・everhart・bse

(電子 1 個あたり)/ eta / profile(pairs: x と inlens)/

真の寸法 width_bottom_nm・width_top_nm・width_mid_nm。

Examples

>>> r = sem_line_profile(energy_kev=1.0, width_nm=30, height_nm=20, x_half_range_nm=30,

... x_step_nm=10, electrons_per_point=40)

>>> r["profile"].shape

(7, 2)

詳しい使い方ガイド

• generative_art ファミリガイド

参考(サンプルデータ・文献)

• サンプルデータカタログ(DL URL / ライセンス) — 2-D は skimage.data(BSD/public)+ 合成、3-D は実データ源(Stanford/PDS 等)の DL URL。

• 演算子の来歴・参考文献 — この op 族の元になった研究/手法の出典。

• アルゴリズムの正典(著者・年)と用途は上記ファミリ使い方ガイドに記載。

実行できる例(この op を実際に呼ぶ検証済みサンプル)

• poc_virtual_sem_kv_cd_bse — py -3.11 examples/poc_virtual_sem_kv_cd_bse.py

型が繋がる次の op(`table` を入力に取れる)

perpetual_step · perpetual_render

同カテゴリ(`sem`)

sem_render · sem_electron_mc · sem_se_universal_curve · sem_yield_curve · sem_cd_measure · sem_image · sem_se_escape_fraction · sem_charging_series

*Provenance: sem.py — GENERATIVE operator registry. この per-op ノートは tools/opdocs.py md が自動生成(手編集しない)。*

sem_line_profile — GENERATIVE sem op

使い方