sem_line_profile — GENERATIVE `sem` op

• 데이터 종류: 없음 → table(인자만으로 정해지는 연산자 —— 이미지나 데이터 입력을 받지 않습니다)

• 호출: import fullseye as fs; fs.ledger.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict'(구현을 직접 호출하려면 import sem; sem.sem_line_profile(line_material='PMMA', substrate='SI', energy_kev: 'float' = 1.0, *, width_nm: 'float' = 40.0, height_nm: 'float' = 40.0, sidewall_deg: 'float' = 88.0, beam_sigma_nm: 'float' = 1.0, x_half_range_nm=None, x_step_nm: 'float' = 1.0, electrons_per_point: 'int' = 200, buried=None, seed: 'int' = 0) -> 'dict', 원장에서 가져오려면 opsgenerative.get("sem_line_profile"))

사용법

사다리꼴 단면의 선 하나를 가로질러 전자빔을 주사한 라인 프로파일을 몬테카를로로 구한다(CD-SEM).

> 아래 상세 설명은 원문입니다 —— 요약과 제목은 번역되어 있습니다.

線は y に一様。底辺の幅 width_nm・高さ height_nm・側壁角 sidewall_deg (90 = 垂直)の台形で、材料 line_material が基板 substrate の上に乗る(height_nm = 0 なら平らな基板)。ビームは幅 beam_sigma_nm のガウシアン、位置ごとに electrons_per_point 個を撃つ。buried は基板に埋もれた矩形の列 [(材料名, x0, x1, 上端の深さ, 下端の深さ), ...] [nm]。

Returns

dict

x_nm / 検出器ごとの信号 se_total・inlens・everhart・bse

(電子 1 個あたり)/ eta / profile(pairs: x と inlens)/

真の寸法 width_bottom_nm・width_top_nm・width_mid_nm。

Examples

>>> r = sem_line_profile(energy_kev=1.0, width_nm=30, height_nm=20, x_half_range_nm=30,

... x_step_nm=10, electrons_per_point=40)

>>> r["profile"].shape

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자세한 사용 가이드

• generative_art 패밀리 가이드

참고(샘플 데이터·문헌)

• 샘플 데이터 카탈로그(DL URL / 라이선스) —— 2-D 는 skimage.data(BSD/public)+ 합성, 3-D 는 실데이터 소스(Stanford/PDS 등)의 DL URL.

• 연산자의 내력·참고문헌 —— 이 연산자 족의 바탕이 된 연구/기법의 출처.

• 알고리즘의 정전(저자·연도)과 용도는 위의 패밀리 사용 가이드에 적혀 있습니다.

실행 가능한 예제(이 연산자를 실제로 호출하는 검증된 샘플)

• poc_virtual_sem_kv_cd_bse — py -3.11 examples/poc_virtual_sem_kv_cd_bse.py

타입이 이어지는 다음 연산자(`table` 를 입력으로 받는 것)

perpetual_step · perpetual_render

같은 카테고리(`sem`)

sem_render · sem_electron_mc · sem_se_universal_curve · sem_yield_curve · sem_cd_measure · sem_image · sem_se_escape_fraction · sem_charging_series

*Provenance: sem.py — GENERATIVE 연산자 레지스트리. 이 op 노트는 tools/opdocs.py md 가 자동 생성합니다(직접 편집하지 마세요).*

sem_line_profile — GENERATIVE sem op

사용법